नक्काशीको लागि पोली-सी बाहिरी रिंगहरू

सामान्यतया वरिपरि स्थितस्नान हेड, Poly-Si बाहिरी घण्टीले निकास रिंग र शावरहेड बीचको जडान भागको रूपमा कार्य गर्दछ। संग सहकार्य गरेर काम गर्दछइलेक्ट्रोस्टेटिक चक, Si showerhead, Si फोकस रिंग, Si निकास रिंग, र Si शिल्डिङ रिंग, उच्च सटीक नक्काशी सञ्चालनको लागि एक स्थिर र भरपर्दो प्रक्रिया वातावरण सिर्जना।

नक्काशीका लागि सेमिकोरेक्स पोली-सी बाहिरी घण्टीका फाइदाहरू

सेमिकोरेक्स पोली-सी बाहिरी घण्टीहरू एचिंगका लागि उच्च-गुणस्तरको पोलिसिलिकनबाट सटीक रूपमा निर्मित छन्, निम्न उत्कृष्ट गुण प्रदर्शन प्रदान गर्दै।

1. उच्च सफाई र कम कण सामग्री

2. सुपीरियर उच्च-तापमान प्रतिरोध र उच्च थर्मल झटका प्रतिरोध

3. भरपर्दो जंग प्रतिरोध

4. असाधारण विद्युत प्रदर्शन र उच्च विद्युत चालकता एकरूपता

नक्काशीको लागि सेमिकोरेक्स पोली-सी बाहिरी रिंगहरूको कार्यहरू

1. स्थिर ग्राउन्डिङ प्रदर्शन

इलेक्ट्रोड ग्राउन्डिङ र सुरक्षाको लागि प्रयोग गरिएको, सेमिकोरेक्स पोली-सी बाहिरी घण्टीहरू एचिंगका लागि स्थिर संचय र चाप क्षतिबाट बच्न र इलेक्ट्रोड प्रणालीको स्थिर सञ्चालन सुनिश्चित गर्न सक्षम छन्, उन्नत 3D NAND निर्माणको लागि प्रक्रियाको मागहरू पूर्ण रूपमा पूरा गर्दछ।

2. भरपर्दो समर्थन

सेमिकोरेक्स पोली-सी बाहिरी घण्टीहरू नक्कलीका लागि निकास रिङ र शावरहेड जोड्ने अत्यावश्यक कम्पोनेन्टको रूपमा काम गर्छन्। तिनीहरू दुवै भागहरूमा भरपर्दो मेकानिकल समर्थन प्रदान गर्छन् र तिनीहरूलाई उपयुक्त ठाउँमा स्थिर रूपमा राख्छन्। थप रूपमा, नक्काशीको लागि सेमिकोरेक्स पोली-सी बाहिरी घण्टीहरूको प्रयोगले नक्काशी कक्षमा प्लाज्मा क्षरणलाई रोक्न सक्छ, जसले यसरी प्रभावकारी रूपमा नक्काशी सञ्चालनको स्थिर कार्यान्वयन सुनिश्चित गर्दछ।

3. नक्काशी प्रक्रिया संग अनुकूलता

नक्काशीका लागि सेमिकोरेक्स पोली-सी बाहिरी घण्टीहरूले कम अशुद्धता सामग्री र असाधारण जंग प्रतिरोध, सिलिकन वेफरहरूको निर्माणसँग उत्कृष्ट अनुकूलता प्रदान गर्दछ, जसले नक्काशी गरिएको उप-उत्पादन प्रदूषणको कारणले गर्दा हुने वेफर दोषहरूलाई धेरै कम गर्छ र सेमीकन्डक्टर उत्पादनमा उच्च उपज दर सुनिश्चित गर्दछ।