सिलिकन इन्जेक्टर

Semicorex Silicon Injector एक अल्ट्रा-उच्च शुद्धता कम्पोनेन्ट हो जसलाई कम दबाव रासायनिक भाप डिपोजिसन (LPCVD) प्रणालीहरूमा ग्यासको सटीक डेलिभरीको लागि डिजाइन गरिएको हो। 9N (99.9999999%) बाट निर्मितउच्च शुद्धता सिलिकन, यो राम्रो ट्युबुलर इन्जेक्टरले उच्च सफाई, रसायनहरूसँग अनुकूलता, र चरम प्रक्रिया अवस्थाहरूमा थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ।

सेमीकन्डक्टर उत्पादनले उच्च स्तरको एकीकरण र प्रदूषणको कडा नियन्त्रणमा विकास गर्न जारी राखेकोले, डिपोजिसन चेम्बरमा प्रत्येक ग्यास डेलिभरी कम्पोनेन्टले पनि पहिले भन्दा उच्च मापदण्डहरू पूरा गर्न आवश्यक हुनेछ। सेमिकोरेक्स सिलिकन इन्जेक्टर विशेष गरी यी प्रकारका आवश्यकताहरूका लागि विकसित गरिएको छ — ग्यासयुक्त सामग्रीहरूलाई प्रतिक्रिया कक्षमा स्थिर र एकसमान तरिकामा डेलिभर गर्ने प्रदूषणको परिचय बिना नै फिल्मको गुणस्तर, वा वेफर उत्पादनमा नकारात्मक प्रभाव पार्छ।

इन्जेक्टर प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा मोनोक्रिस्टलाइन वा पोलिक्रिस्टलाइन सिलिकनबाट निर्मित हुन्छ, र सामग्री कम धातु, कण, र आयनिक अशुद्धता हुन डिजाइन गरिएको हो। यसले अल्ट्रा-क्लिन LPCVD अवस्थाहरूसँग अनुकूलता प्रदान गर्दछ, जहाँ ट्रेस प्रदूषणले पनि फिल्ममा दोष वा यन्त्रको विफलता उत्पन्न गर्न सक्छ। आधार सामग्रीको रूपमा सिलिकनको प्रयोगले चेम्बरको इन्जेक्टर र सिलिकन कम्पोनेन्टहरू बीचको सामग्री बेमेललाई पनि कम गर्छ, जसले प्रयोग र उच्च-तापमान सञ्चालनको क्रममा कण उत्पादन जोखिम वा रासायनिक प्रतिक्रियाहरूलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्छ।

सिलिकन इन्जेक्टरको समर्पित ट्यूबलर संरचनाले एक समान वेफर लोडमा ग्यासको नियन्त्रण र समान वितरणको लागि अनुमति दिन्छ। माइक्रो-इन्जिनियर गरिएको ओरिफिसहरू र चिल्लो भित्री सतहले ल्यामिनार ग्यास गतिशीलताका साथ पुन: उत्पादन गर्न सकिने प्रवाह दरहरू सुनिश्चित गर्दछ जुन भट्टीमा स्थिर फिल्म मोटाई र स्थिर जम्मा दरहरूको लागि महत्वपूर्ण हुन्छ। चाहे यो सिलेन (SiH₄), dichlorosilane (SiH₂Cl₂), वा अन्य प्रतिक्रियाशील ग्यासहरू हो, इन्जेक्टरले राम्रो गुणस्तरको पोलिसिलिकन फिल्म विकासको लागि आवश्यक भरपर्दो प्रदर्शन र सटीकता प्रदान गर्दछ।

उत्कृष्ट थर्मल स्थिरताको कारण, Semicorex सिलिकन इन्जेक्टरले 1250 °C सम्मको तापक्रमको सामना गर्न सक्छ र उच्च-तापमान LPCVD को धेरै चक्रहरूमा विरूपण, क्र्याक, वा वार्पिङको डर बिना नियन्त्रण गर्न सकिन्छ। थप रूपमा, यसको अक्सिडेशन र रासायनिक जडत्वको उच्च प्रतिरोधले अक्सिडाइजिंग, घटाउने, वा संक्षारक वातावरणमा लामो रनहरू प्रदान गर्दछ जबकि मर्मतसम्भार घटाउँदछ र प्रक्रिया स्थिरता सिर्जना गर्दछ।

प्रत्येक इन्जेक्टर अत्याधुनिक सीएनसी मेसिनिङ र पालिसिङ प्रयोग गरेर बनाइन्छ, उप-माइक्रोन आयामी सहिष्णुता र सतहमा अल्ट्रा-स्मूथ फिनिशहरू प्राप्त गर्दछ। उच्च गुणस्तरको सतह फिनिशले ग्यास टर्ब्युलेन्सलाई कम गर्छ, धेरै थोरै कणहरू सिर्जना गर्दैन जबकि असंगत थर्मल र दबाव परिवर्तनहरूमा लगातार प्रवाह विशेषताहरू सुनिश्चित गर्दै। सटीक निर्माणले कडा नियन्त्रण प्रक्रियाहरू सुनिश्चित गर्दछ, एक भरपर्दो परिणामहरू पुन: उत्पादन गर्न सकिन्छ, र यसैले लगातार उपकरण प्रदर्शन।

Semicorex ले बेस्पोक सिलिकन इन्जेक्टरहरू उत्पादन गर्छ, जुन अनुकूलन लम्बाइ, व्यास, र नोजल कन्फिगरेसनहरूमा उपलब्ध छ। एकल-अफ रिएक्टर ज्यामितिहरू वा डिपोजिसन रेसिपीहरूको लागि ग्यास फैलावट ढाँचाहरू बृद्धि गर्न अनुकूल समाधानहरू विकास गर्न सकिन्छ। सेमीकन्डक्टर-ग्रेडको उच्चतम स्तर प्रदान गर्न प्रत्येक इन्जेक्टरलाई शुद्धताको लागि निरीक्षण र प्रमाणित गरिन्छ।सिलिकन घटक.

सेमिकोरेक्स सिलिकन इन्जेक्टरले आजको अर्धचालक निर्माणमा आवश्यक परिशुद्धता र शुद्धता प्रदान गर्दछ। 9N अल्ट्रा-उच्च शुद्धता सिलिकन, माइक्रोन-स्तरको मेसिनिंग सटीकता, र उच्च थर्मल र रासायनिक स्थिरता समावेश गर्दै LPCVD पोलिसिलिकन जम्मा गर्दा समान ग्यास वितरण, कम कण उत्पादन, र असाधारण विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ।