सिलिकन पेडेस्टल डुङ्गा

Semicorex सिलिकन पेडेस्टल डुङ्गा एक अल्ट्रा-क्लिन वेफर वाहक हो जुन उच्च तापक्रम सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाहरू जस्तै अक्सिडेशन, डिफ्युजन, र LPCVD (कम चापको रासायनिक वाष्प निक्षेप) लाई समर्थन गर्न उच्च शुद्धता र परिशुद्धताका साथ इन्जिनियर गरिएको छ। यो वेफर क्यारियर 9N (99.9999999%) बाट बनाइएको होउच्च शुद्धता सिलिकनअसाधारण सरसफाई सुनिश्चित गर्न, विस्तार स्थिरता को थर्मल गुणांक, र वेफर समर्थन को लागी मेकानिकल परिशुद्धता र अल्ट्रा-स्वच्छ वातावरण मा लगातार प्रक्रिया नियन्त्रण।

सेमीकन्डक्टर उपकरण ज्यामितिहरू संकुचित हुन जारी राख्दा, अल्ट्रा-क्लिन र थर्मली अनुकूल वेफर ह्यान्डलिंग कम्पोनेन्टहरूको आवश्यकता त्यस्तो मागमा कहिल्यै थिएन। सिलिकन पेडेस्टल डुङ्गाले 1100°C र 1250°C को बीचमा सञ्चालन गर्ने उन्नत फर्नेस प्रणालीहरूमा प्रयोग गर्न उच्च आयामी शुद्धता र अतुलनीय शुद्धताका साथ यी मागहरूलाई सम्बोधन गर्दछ।

सिलिकन डुङ्गा संरचना ग्राहक आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलित गर्न सकिन्छ, ग्रूभ बार आकार, नाली दाँत लम्बाइ, आकार, झुकाव कोण, र कुल वेफर लोड क्षमता सहित। उच्च-तापमान सिलिकन डुङ्गाहरूले प्रभावकारी रूपमा सिलिकन वेफर्समा सम्पर्क क्षतिलाई कम गर्न सक्छ, प्रक्रिया उपज सुधार गर्न सक्छ। यसको उच्च-ताप ​​"स्लिप-फ्री टावरहरू" डिजाइनले समर्थन गर्ने दाँतको टुप्पोमा मात्र वेफरहरूलाई समर्थन गर्दछ। सिलिकन कार्बाइडको तुलनामा, सिलिकन अपेक्षाकृत कम कडा छ, वेफर्समा मेकानिकल क्षति कम गर्दछ, जसले जाली गुणस्तर सुधार गर्दछ र प्रभावकारी रूपमा उत्पादन लागत घटाउँछ।

पेडेस्टल डुङ्गा उपलब्ध छमोनोक्रिस्टलाइन वा पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकनगैर-सिलिकन सामग्रीहरूसँग सम्बन्धित प्रदूषण जोखिमहरू हटाउन। प्लेटफर्मले सक्रिय रूपमा प्रयोग गरिएको वेफर्सको रूपमा समान रासायनिक संरचना साझा गर्दछ, जसले उच्च तापमान प्रक्रियाहरूमा अनावश्यक प्रतिक्रिया वा आयन प्रसारलाई कम गर्छ। सामग्रीको एकरूपताले लगातार उच्च वेफर गुणस्तर र बारम्बार उत्पादन चक्र मार्फत उच्च उपकरण उपजको लागि कण र धातु अशुद्धताहरूको भौतिक पहिचानलाई पर्याप्त रूपमा घटाउँछ।

सेमिकोरेक्स सिलिकन पेडेस्टल डुङ्गाले ठ्याक्कै डिजाइन गरिएको वेफर स्लटहरू, ठाडो समर्थन संरचनाहरूसँग मिलाएर, ताप चक्रमा वेफरहरू पूर्ण रूपमा पङ्क्तिबद्ध र दूरीमा रहेको सुनिश्चित गर्दै। यसको आयामी स्थिरता उत्कृष्ट छ, यो सुनिश्चित गर्दै कि पेडेस्टल डुङ्गा चरम तापक्रममा तातो, झुकाउने वा परिवर्तन हुँदैन, प्रत्येक वेफरमा राम्रो तापक्रम र ग्यास वितरण प्रदान गर्दछ। यो आयामी स्थिरताले अक्सिडेशन र डिफ्युजनको समयमा फिल्म मोटाई एकरूपतामा तत्काल, सकारात्मक प्रभाव पार्छ र कम दोष गणनाका साथै राम्रो प्रक्रिया दोहोर्याउने क्षमता प्रदान गर्दछ।

सिलिकन पेडेस्टल डुङ्गाको प्राथमिक लाभ यसको अनुकूलित मेकानिकल र थर्मल गुणहरू हो। SiC वा क्वार्ट्जको तुलनामा सिलिकनको कठोरताले तातो विस्तारको क्रममा वेफर कम्पन वा आन्दोलनको कारण माइक्रो-स्क्र्याच गरिएको र कण उत्पादनलाई कम गर्न मद्दत गर्दछ। यो ब्याकसाइड-संवेदनशील वेफरहरूको लागि विशेष गरी सत्य हो, जहाँ वेफर सतहको अखण्डता उपज र उपकरण प्रदर्शनको लागि महत्त्वपूर्ण छ।

पेडेस्टल डुङ्गामा राम्रो थर्मल चालकता र थर्मल विस्तारको कम गुणांक छ जसले धेरै ताप र शीतलन चक्रहरूको साथ आकार र संरचनात्मक सुदृढता कायम राख्दा ताप स्थानान्तरण विशेषताहरू प्रदान गर्दछ। बलियो डिजाइनले चरम फर्नेस अवस्थाहरू मार्फत न्यूनतम विकृतिको साथ लामो जीवन प्रदान गर्दछ।

Semicorex ले वेफर व्यास, स्लट गणना, पेडेस्टल उचाइ, र ज्यामिति भिन्नताहरू सहित विभिन्न उपकरण कन्फिगरेसनहरूको लागि अनुकूलन डिजाइनहरू प्रदान गर्दछ। प्रत्येक उत्पादन शुद्धता, आयामी मापन, र थर्मल चालकता परीक्षणको लागि निरीक्षण गरिन्छ, सबै अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा उच्चतम मापदण्डहरू पूरा गर्न।

सिलिकन पेडेस्टल डुङ्गा अक्सिडेशन र डिफ्युजन प्रक्रियाहरूका साथसाथै LPCVD र annealing एप्लिकेसनहरूसँग मिल्दोजुल्दो छ जसलाई तापमान एकरूपता र प्रदूषण नियन्त्रण आवश्यक हुन्छ। सिलिकन पेडेस्टल डुङ्गा अन्य सिलिकन फर्नेस कम्पोनेन्टहरू जस्तै इन्जेक्टर ट्युब, लाइनर ट्युफेरिङ् र म्याचिङ सामाग्री, लाइनर ट्युबरिङ् र म्याचिङ सामग्रीसँग मिल्दो छ। प्रणाली।