सिलिकन शील्ड रिंग

Semicorex Silicon Shield Ring नक्काशी प्रक्रियामा एक महत्वपूर्ण अर्धचालक घटक हो। यसको प्राथमिक कार्य इलेक्ट्रोडलाई घेर्नु र अत्यधिक प्लाज्मा चुहावट रोक्नु हो। 9N (99.9999999%) भन्दा बढी सामग्री शुद्धता संग, ढाल रिंग एकल-क्रिस्टल र बहु-क्रिस्टल दुवै द्वारा बनाउन सकिन्छ।सिलिकन, अल्ट्रा-क्लिन अपरेशन र उन्नत अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाहरूसँग भरपर्दो अनुकूलता सुनिश्चित गर्दै।

शिल्ड रिंगलाई प्रत्येक उपकरणको कन्फिगरेसन र प्रक्रिया विशिष्टताहरूको लागि पनि अनुकूलित गर्न सकिन्छ किनभने तिनीहरू धेरै आकार र ज्यामितिहरूमा उपलब्ध छन् जसले धेरै फरक प्लाज्मा एचिंग चेम्बरहरू समायोजन गर्दछ जसले अझै पनि इष्टतम फिट हासिल गर्दछ। थप रूपमा, सतह उपचार र पॉलिशिंग अल्ट्रा-क्लिन उत्पादन मापदण्डहरूको लागि कण उत्पादनलाई थप कम गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ।

सिलिकनको थर्मल र बिजुली गुणहरूले Etching Shield Ring को प्रदर्शनलाई समर्थन गर्दछ। उच्च प्रक्रियाको तापमानमा यसको प्रतिरोधले लामो समयसम्म प्लाज्मा एक्सपोजरको समयमा संरचनात्मक अखण्डता प्रदान गर्दछ, र यसको विद्युतीय चालकताले कम्पोनेन्टलाई इलेक्ट्रोड प्रणालीमा एक तत्वको रूपमा ठीकसँग काम गर्न अनुमति दिन्छ। सँगै, यी एप्लिकेसनहरूले प्लाज्मा कैदमा वृद्धि गर्दछ र ऊर्जा एकरूपता सुधार गर्दछ, जसले वेफरहरूमा दोहोर्याउन सकिने इच प्रोफाइलहरूको लागि अनुमति दिन्छ।

मेकानिकल सहिष्णुता सिलिकन इचिङ शिल्ड रिङको अर्को उल्लेखनीय विशेषता हो। कडा सहिष्णुतामा निर्मित गरेर, यसले इलेक्ट्रोडको वरिपरि सही स्थिति सुनिश्चित गर्दछ र चेम्बरको स्पेसिङ र ज्यामिति कायम राख्छ। यो मेकानिकल परिशुद्धताले व्यक्तिगत रनहरू बीच कम परिवर्तनशीलताको लागि दोहोर्याउने प्रक्रिया अवस्थाहरू उत्पन्न गर्दछ, र उच्च-भोल्युम अर्धचालक उत्पादनको लागि अनुमति दिन्छ। सामग्री आफैं प्लाज्मा वातावरण संग उत्कृष्ट अनुकूलता छ; तसर्थ यसको संरचना क्षयीकरणले यसलाई सामान्यतया लामो सेवा जीवन र प्रक्रिया प्रदर्शनमा स्थिरता प्रदान गर्न अनुमति दिन्छ।

स्थायित्व र लागत प्रभावकारिता दुई थप मूल्यवान फाइदाहरू हुन्। चेम्बरको अनावश्यक भागहरूलाई प्लाज्माबाट जोगाएर, शिल्ड रिङले अन्य महत्वपूर्ण कम्पोनेन्टहरूमा पहिरन कम गर्छ, जसले मर्मतसम्भार प्रयासहरूलाई कम गर्छ र समग्र परिचालन अपटाइम बढाउँछ। लामो सेवा जीवन र कम बारम्बार प्रतिस्थापनले उत्पादकता बढाउन र यसरी सञ्चालन लागत घटाउन अर्धचालक फ्याबहरूको लागि लागत प्रभावी समाधान बनाउँछ।

दसिलिकनशिल्ड रिंगलाई प्रत्येक उपकरणको कन्फिगरेसन र प्रक्रिया विशिष्टताहरूको लागि पनि अनुकूलित गर्न सकिन्छ किनभने तिनीहरू धेरै आकार र ज्यामितिहरूमा उपलब्ध छन् जसले धेरै फरक प्लाज्मा एचिंग चेम्बरहरू समायोजन गर्दछ जसले अझै पनि इष्टतम फिट हासिल गर्दछ। थप रूपमा, सतह उपचार र पॉलिशिंग अल्ट्रा-क्लिन उत्पादन मापदण्डहरूको लागि कण उत्पादनलाई थप कम गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ।