सिलिकन वेफर डुङ्गा

Semicorex ले सिलिकन वेफर डुङ्गाको संरचनालाई अनुकूलन गर्न सक्छ, जसमा ग्रूभ रड आकार, ग्रूभ दाँतको लम्बाइ, आकार, झुकाव कोण, र कुल वेफर लोडिङ क्षमता, र ग्राहक आवश्यकताहरू अनुसार उत्पादन गर्न सकिन्छ। उच्च-तापमान सिलिकन डुङ्गाहरूले प्रभावकारी रूपमा सिलिकन वेफरहरूमा सम्पर्क क्षति कम गर्न र प्रक्रिया उपज सुधार गर्न सक्छ। यसको उच्च-ताप ​​"स्लिप-फ्री टावरहरू" डिजाइनले समर्थन गर्ने दाँतको टुप्पोमा मात्र वेफरहरूलाई समर्थन गर्दछ। को तुलनामासिलिकन कार्बाइड, सिलिकनसँग अपेक्षाकृत कम कठोरता छ, जसले वेफर्समा मेकानिकल क्षतिलाई कम गर्छ, जसले जाली पास दरमा सुधार गर्छ र उत्पादन लागतलाई प्रभावकारी रूपमा घटाउँछ। फ्युज गरिएको सिलिकन डुङ्गा धेरै भागहरू मिलेर बनेको हुन्छ: दाँत, बेस प्लेट र माथिल्लो प्लेट, जुन सँगै फ्यूज हुन्छन्। यसले उत्पादन लागत घटाउँछ। आंशिक क्षतिको घटनामा, क्षतिग्रस्त भागहरू सम्पूर्ण सिलिकन डुङ्गालाई प्रतिस्थापन नगरी प्रतिस्थापन गर्न सकिन्छ, प्रयोगको क्रममा स्वामित्व लागतलाई उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछ। थप रूपमा, सिलिकन डुङ्गासँग polysilicon डिपोजिसनको लागि ठूलो माथिल्लो सीमा छ, जसले प्रभावकारी रूपमा PM उपकरणको आवृत्ति घटाउन र उत्पादन क्षमता सुधार गर्न सक्छ।

Semicorex सिलिकन वेफर बोट एक अभिनव, उद्देश्य-डिजाइन, वेफर वाहक हो। यो विशेष गरी सेमीकन्डक्टर उद्योगमा प्रयोग हुने उच्च-तापमान भट्टी प्रशोधनका लागि बनाइएको हो, जसमा १२०० र १२५० डिग्री सेल्सियसको बीचको तापक्रममा अक्सीकरण र घटाउने प्रक्रियाहरू समावेश छन्। सिलिकन कार्बाइड (SiC) सामाग्रीमा उपलब्ध नहुने कार्यसम्पादन लाभहरू प्रस्तुत गर्दै, सिलिकन वेफर बोटले सेमीकन्डक्टर निर्माणका लागि आवश्यक पर्ने कठोर प्रक्रियाहरूसँग सान्दर्भिक फाइदाहरू प्रदान गर्दछ। पहिलो, सिलिकन सामग्रीको अल्ट्रा-उच्च शुद्धता महत्त्वपूर्ण छ; वास्तवमा, दसिलिकन सामग्री9N (99.9999999%) भन्दा माथिको अति-उच्च-शुद्धता स्तरहरू प्राप्त गर्दछ, जसले गर्दा कुनै पनि धातु वा विदेशी अशुद्धताले वेफर प्रशोधनलाई दूषित गर्दैन। यो अग्रणी-किनारा सेमीकन्डक्टर उपकरण निर्माणको लागि महत्त्वपूर्ण छ जहाँ प्रदर्शन विश्वसनीयता र उपज प्रदूषणबाट धेरै प्रभावित हुन्छ। सिलिकन वेफर डुङ्गाले अक्सिडेसन र रिडक्सन प्रशोधनका लागि धेरै उच्च तापक्रममा परेका वेफरहरूको ह्यान्डलिङका लागि सबैभन्दा उन्नत उद्योग आवश्यकताहरूका लागि उपयुक्त उच्च स्तरको शुद्धताको साथ अल्ट्रा-स्वच्छ वातावरण प्रदान गर्दछ।

को अर्को फाइदासिलिकन सामग्रीSiC सामग्रीको तुलनामा यसको कम कठोरता गुण हो। SiC बारहरू वा डुङ्गाहरू कठोरता र बलको लागि चिनिन्छन्, तर धेरै गुणहरूले वेफर प्रशोधनको क्रममा कठिनाइहरू निम्त्याउन सक्छ। उच्च तापक्रममा, वेफरहरू माइक्रो-चल्छन्; डुङ्गा भित्र हुँदा तिनीहरू थोरै उछाल्छन्, थोरै सर्छन्, र किनारा ताना। कडा, SiC सामग्रीले वेफरको पछाडिको भागमा कणहरू वा खरोंचहरू उत्पन्न गर्ने उच्च जोखिमहरू निम्त्याउन सक्छ किनकि वेफर र डु boat्गाको गुणहरूले यी उच्च-तापमान प्रशोधन अवस्थाहरूमा अन्तरक्रिया गर्दछ।

सिलिकनले उच्च तापमानमा राम्रो स्थिरता र मेकानिकल बल प्रदान गर्दछ, डुङ्गालाई बारम्बार फर्नेस चक्रहरूमा भरपर्दो रूपमा सेवा गर्न अनुमति दिन्छ। सामग्रीले तताउने र शीतलन चक्रको समयमा वार्पिङको प्रतिरोध गर्दछ, र यसरी, द्रुत फर्नेस चक्रहरूमा पनि सटीक वेफर प्लेसमेन्ट र स्थिति सहिष्णुता कायम राख्छ। यो थर्मल बलियोपनले भरपर्दो प्रक्रिया परिणामहरू प्रदान गर्दछ जुन रनहरू बीचको न्यूनतम भिन्नताको साथ उच्च मात्रा उत्पादनको लागि पर्याप्त अनुरूप हुन्छ। सिलिकन वेफर डुङ्गा लगातार वेफर स्थिति र प्लेसमेन्ट सुनिश्चित गर्न उच्च आयामी परिशुद्धता संग निर्माण गरिएको छ। डुङ्गालाई चिल्लो सतहहरू, नजिक ज्यामिति र कडा सहिष्णुताहरू सिर्जना गर्न उन्नत मेसिनिंग र पालिसिङ प्रयोग गरेर बनाइएको छ।

सिलिकनले उच्च तापमानमा राम्रो स्थिरता र मेकानिकल बल प्रदान गर्दछ, डुङ्गालाई बारम्बार फर्नेस चक्रहरूमा भरपर्दो रूपमा सेवा गर्न अनुमति दिन्छ। सामग्रीले तताउने र शीतलन चक्रको समयमा वार्पिङको प्रतिरोध गर्दछ, र यसरी, द्रुत फर्नेस चक्रहरूमा पनि सटीक वेफर प्लेसमेन्ट र स्थिति सहिष्णुता कायम राख्छ। यो थर्मल बलियोपनले भरपर्दो प्रक्रिया परिणामहरू प्रदान गर्दछ जुन रनहरू बीचको न्यूनतम भिन्नताको साथ उच्च मात्रा उत्पादनको लागि पर्याप्त अनुरूप हुन्छ। सिलिकन वेफर डुङ्गा लगातार वेफर स्थिति र प्लेसमेन्ट सुनिश्चित गर्न उच्च आयामी परिशुद्धता संग निर्माण गरिएको छ। डुङ्गालाई चिल्लो सतहहरू, नजिक ज्यामिति र कडा सहिष्णुताहरू सिर्जना गर्न उन्नत मेसिनिंग र पालिसिङ प्रयोग गरेर बनाइएको छ।