पोली-सी स्लटेड रिंगहरू

Poly-Si स्लटेड रिंगहरू सामान्यतया उन्नत अर्धचालक नक्काशी उपकरणको प्रतिक्रिया कक्षमा स्थापना गरिन्छ। तिनीहरू सिलिकन सहित सिलिकन भागहरूसँग समन्वयात्मक रूपमा सञ्चालन गर्छन्फोकस घण्टीहरू, सिलिकन बाहिरी घण्टी, र सिलिकनशावरहेडहरू। यी भागहरूले नक्काशी प्रक्रियाको लागि स्थिर र इष्टतम प्रतिक्रिया वातावरण सिर्जना गर्न सक्छन्, उत्कृष्ट सुनिश्चित गर्दैनक्काशीपरिशुद्धता र प्रक्रिया स्थिरता।

सेमीकोरेक्स पोली-सी स्लटेड रिंगहरूको कार्यहरू

1. सेमिकोरेक्स पोली-सी स्लटेड रिंगहरू धेरै समान रूपमा वितरित स्लटहरूसँग सुसज्जित छन् जसले ग्यास मार्गहरूको रूपमा सेवा गर्दछ, जसले प्रतिक्रिया पछि प्रक्रिया ग्यासहरूको सहज निकासलाई अनुमति दिन्छ।

2. सेमिकोरेक्स पोली-सी स्लटेड रिङहरूले उत्कृष्ट प्लाज्मा नियन्त्रण प्राप्त गर्न सक्षम छन्, सेमीकन्डक्टर इचिङ उपकरणको प्रतिक्रिया कक्षको लागि भरपर्दो सुरक्षा प्रदान गर्दै।

3. सेमिकोरेक्स पोली-सी स्लटेड रिङहरूले बिजुली क्षेत्र र च्याम्बरको दबाब समायोजन गर्न मद्दत गर्न सक्छ, जसले गर्दा नक्काशी प्रक्रिया स्थिरतालाई असर गर्नबाट अस्थिरतालाई रोक्न सक्छ।

उच्च मानक सामग्री चयन

सेमिकोरेक्स पोली-सी स्लटेड रिंगहरू उच्च गुणस्तरको पोलिक्रिस्टलाइन सिलिकनबाट 99.9999% भन्दा बढी शुद्धता स्तरको साथ निर्मित छन्, जसले तिनीहरूलाई निम्नानुसार उत्कृष्ट गुणहरू प्रदान गर्दछ।

1. अल्ट्रा-उच्च शुद्धता र अत्यन्त कम अशुद्धता सामग्री।

2. असाधारण प्लाज्मा जंग प्रतिरोध।

3. अनुकूल विद्युत गुण, प्रतिरोध एकरूपता संग: RRG ≤ 5%, कम रिज। (<0.02), मध्य रिजर्भेसन। (1-4), र उच्च रिजोलुसन। (७०-९०)।

उत्पादन क्षमता र गुणस्तर नियन्त्रण

उन्नत मेसिनिङ उपकरण र अनुभवी प्राविधिक टोलीले सुसज्जित, सेमिकोरेक्सले प्रत्येक उत्पादन प्रक्रियालाई कडाइका साथ नियन्त्रण गर्छ र हाम्रा मूल्यवान ग्राहकहरूलाई उच्च-गुणस्तर र राम्रोसँग मेल खाने पाली-सी स्लटेड रिङहरू प्रदान गर्दछ। थप रूपमा, Semicorex ले चिप्स, स्क्र्याचहरू, दरारहरू र दागहरू जस्ता दोषहरूबाट मुक्त सुनिश्चित गर्नका लागि आयामी मापन, प्रतिरोधात्मकता परीक्षण, र समाप्त पोली-सी स्लटेड रिंगहरूमा दृश्य निरीक्षणमा कडा नियन्त्रण सञ्चालन गर्दछ।