सिलिकन इचिंग रिंगहरू

सिलिकन इचिङ रिङहरू सीसीपी/आईसीपी इच उपकरणको प्लाज्मा इच चेम्बर भित्रका अत्यावश्यक कम्पोनेन्ट हुन् र सामान्यतया सेमीकन्डक्टर वेफरको वरिपरि राखिन्छन्। तिनीहरूको प्राथमिक कार्यहरू अर्धचालक वेफरलाई समर्थन गर्ने, समान प्लाज्मा वितरण कायम राख्ने, वेफर किनाराको सुरक्षा गर्ने, र यसरी प्लाज्मा नक्काशी प्रक्रियाको लागि इष्टतम परिचालन अवस्थाहरू सिर्जना गर्न मद्दत गर्ने हो।

Semicorex सिलिकन नक्काशी रिंग को लाभ

1. प्रिमियम सामग्री चयन

सेमिकोरेक्स सिलिकन इचिङ रिङहरू सावधानीपूर्वक चयन गरिएको उच्च-शुद्धता MCZ बाट बनाइन्छ।मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन, जसले परम्परागत CZ मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन भन्दा निम्न उत्कृष्ट गुणहरू प्रदान गर्दछ।

उच्च शुद्धता: शुद्धता 99.9999999% भन्दा बढी छ, जसको अर्थ Semicorex सिलिकन इचिङ रिङहरूमा लगभग कुनै अशुद्धता हुँदैन। यो अति-उच्च शुद्धताले नक्काशी प्रक्रियाको क्रममा कम्पोनेन्ट अशुद्धताबाट हुने हस्तक्षेपलाई प्रभावकारी रूपमा बेवास्ता गर्न सक्छ, जसले गर्दा उच्च नक्काशी शुद्धताको ग्यारेन्टी हुन्छ।

स्थिर संरचना: MCZ मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकनले परम्परागत CZ मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन भन्दा कम दोषहरूको साथ उच्च क्रिस्टल संरचना फिचर गर्दछ। यो स्थिर क्रिस्टल ढाँचाले सेमिकोरेक्स सिलिकन एचिंग रिंगहरूलाई प्लाज्मा क्षरणको लागि जंग प्रतिरोध बढाउँछ र तिनीहरूलाई कठोर नक्काशी अपरेटिङ अवस्थाहरूको सामना गर्न सक्षम बनाउँछ।

उत्कृष्ट प्रतिरोधात्मक एकरूपता:Semicorex सिलिकन नक्काशी घण्टीRRG <5% को साथ असाधारण प्रतिरोध एकरूपता प्रदान गर्नुहोस्। कम Res. (<0.02 Ω·cm), मध्य Res. (0.2–25 Ω·cm), उच्च रिज. (>100 Ω· सेमी)। यो उत्कृष्ट प्रतिरोधात्मक एकरूपताले अत्यधिक उच्च वा कम प्रतिरोधात्मकताको कारणले गर्दा असमान प्लाज्मा वितरणलाई कम गर्न सक्छ, जसले उच्च-परिशुद्धता प्लाज्मा नक्काशीको लागि एक आदर्श विद्युत क्षेत्रलाई योगदान गर्दछ।

2. सटीक प्रशोधन र सख्त गुणस्तर निरीक्षण

Semicorex ले हाम्रा मूल्यवान ग्राहकहरूलाई व्यक्तिगत अनुकूलन र प्राविधिक मूल्याङ्कनहरू प्रदान गर्न सक्ने अनुभवी प्राविधिक टोलीको गर्व गर्दछ र उत्पादनको गुणस्तर सुनिश्चित गर्न व्यवस्थित प्रशोधन र निरीक्षण प्रक्रियाहरू पनि स्थापना गरेको छ।

लचिलो अनुकूलन सेवाहरू: Semicorex ले ग्राहक रेखाचित्रमा आधारित अनुकूलनलाई समर्थन गर्दछ, र सिलिकन इचिङ रिङहरूको अधिकतम अनुकूलन व्यास 470mm सम्म हुन सक्छ।

उच्च-मानक सतह उपचार: पालिसिङ परिशुद्धता Ra <0.1 µm भित्र कडाइका साथ नियन्त्रण गर्न सकिन्छ, र राम्रो पीसने Ra> 0.1 µm को सतह समाप्त हुन्छ।

कडा गुणस्तर निरीक्षण: सिलिकन नक्काशी रिंगहरू चिप्स, स्क्र्याचहरू, दरारहरू, दागहरू र अन्य दोषहरूबाट मुक्त छन् भनेर सुनिश्चित गर्न आयामी मापन, प्रतिरोधात्मकता परीक्षण, र दृश्य निरीक्षण लिइनेछ।