Semicorex को PSS Etching Carrier Tray Wafer Processing को लागि विशेष गरी Epitaxy उपकरण अनुप्रयोगहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो। हाम्रो अल्ट्रा-प्योर ग्रेफाइट क्यारियर पातलो-फिल्म डिपोजिसन चरणहरू जस्तै MOCVD, एपिटाक्सी ससेप्टरहरू, प्यानकेक वा स्याटेलाइट प्लेटफर्महरू, र नक्काशी जस्ता वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधनका लागि उपयुक्त छ। वेफर प्रशोधनका लागि PSS Etching क्यारियर ट्रेमा उच्च ताप र जंग प्रतिरोध, उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू, र उच्च थर्मल चालकता छ। हाम्रा उत्पादनहरू लागत-प्रभावी छन् र राम्रो मूल्य लाभ छ। हामी धेरै युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू पूरा गर्छौं र चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
सेमिकोरेक्सबाट वेफर प्रशोधनका लागि PSS इचिङ क्यारियर ट्रे एपिटेक्सियल वृद्धि र वेफर ह्यान्डलिङ प्रक्रियाहरूको लागि आवश्यक कठोर वातावरणको लागि इन्जिनियर गरिएको छ। हाम्रो अल्ट्रा-प्योर ग्रेफाइट वाहक MOCVD र एपिटाक्सी ससेप्टरहरू, प्यानकेक वा स्याटेलाइट प्लेटफर्महरू जस्ता पातलो-फिल्म डिपोजिसन चरणहरूमा वेफरहरूलाई समर्थन गर्न डिजाइन गरिएको हो। SiC लेपित क्यारियरमा उच्च ताप र जंग प्रतिरोध, उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू, र उच्च थर्मल चालकता छ। हाम्रा उत्पादनहरू लागत-प्रभावी छन् र राम्रो मूल्य लाभ प्रस्ताव गर्छन्।
वेफर प्रशोधनका लागि PSS इचिङ क्यारियर ट्रेको प्यारामिटरहरू
CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण |
||
SiC-CVD गुणहरू |
||
क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण |
|
घनत्व |
g/cm ³ |
3.21 |
कठोरता |
Vickers कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
गर्मी क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल शक्ति |
MPa (RT 4-बिन्दु) |
415 |
युवाको मोडुलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
वेफर प्रशोधनका लागि PSS इचिङ क्यारियर ट्रेका विशेषताहरू
- छिलकाबाट बच्नुहोस् र सबै सतहमा कोटिंग सुनिश्चित गर्नुहोस्
उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस सम्म उच्च तापमानमा स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरिनेशन अवस्था अन्तर्गत CVD रासायनिक वाष्प निक्षेप द्वारा बनाईएको।
जंग प्रतिरोध: उच्च कठोरता, बाक्लो सतह र ठीक कणहरू।
जंग प्रतिरोध: एसिड, क्षार, नुन र जैविक अभिकर्मक।
- उत्तम लामिनार ग्याँस प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्नुहोस्
- थर्मल प्रोफाइल को समानता ग्यारेन्टी
- कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउन रोक्नुहोस्