SiC लेपित PSS नक्काशी क्यारियर

एपिक्सियल ग्रोथ र वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधनमा प्रयोग हुने वेफर क्यारियरहरूले उच्च तापक्रम र कठोर रासायनिक सफाई सहनु पर्छ। Semicorex SiC लेपित PSS Etching क्यारियर विशेष गरी यी माग गर्ने एपिटाक्सी उपकरण अनुप्रयोगहरूको लागि ईन्जिनियर गरियो। हाम्रा उत्पादनहरूमा राम्रो मूल्य लाभ छ र यसले धेरै युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर गर्दछ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

एपिटाक्सी वा MOCVD जस्ता पातलो फिलिम डिपोजिसन चरणहरूका लागि मात्र होइन, वा एचिङ जस्ता वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधनका लागि, सेमिकोरेक्सले वेफरहरूलाई समर्थन गर्न प्रयोग गरिने अल्ट्रा-शुद्ध SiC कोटेड PSS इचिङ क्यारियर आपूर्ति गर्दछ। प्लाज्मा इच वा ड्राई इचमा, यो उपकरण, एपिटेक्सी ससेप्टरहरू, प्यानकेक वा MOCVD को लागि उपग्रह प्लेटफर्महरू, पहिले डिपोजिसन वातावरणको अधीनमा हुन्छन्, त्यसैले यसमा उच्च ताप र जंग प्रतिरोध हुन्छ। SiC लेपित PSS Etching क्यारियरमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू पनि छन्।

SiC कोटेड PSS (प्याटर्न गरिएको नीलमणि सब्सट्रेट) नक्काशी क्यारियरहरू LED (लाइट इमिटिङ डायोड) उपकरणहरूको निर्माणमा प्रयोग गरिन्छ। PSS इच क्यारियरले ग्यालियम नाइट्राइड (GaN) को पातलो फिल्मको विकासको लागि सब्सट्रेटको रूपमा कार्य गर्दछ जसले LED संरचना बनाउँछ। PSS ईच वाहक त्यसपछि एक भिजेको नक्काशी प्रक्रिया प्रयोग गरेर LED संरचनाबाट हटाइन्छ, ढाँचाको सतहलाई पछाडि छोड्छ जसले LED को प्रकाश निकासी दक्षता बढाउँछ।

SiC लेपित PSS इचिङ क्यारियरको प्यारामिटरहरू

CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण
SiC-CVD गुणहरू
क्रिस्टल संरचना	FCC β चरण
घनत्व	g/cm ³	3.21
कठोरता	Vickers कठोरता	2500
अनाज आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
गर्मी क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल शक्ति	MPa (RT 4-बिन्दु)	415
युवाको मोडुलस	Gpa (4pt बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300

उच्च शुद्धता SiC लेपित PSS नक्काशी क्यारियर को विशेषताहरु

- दुवै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तह राम्रो घनत्व छ र उच्च तापमान र संक्षारक काम वातावरण मा राम्रो सुरक्षा भूमिका खेल्न सक्छ।

- सिलिकन कार्बाइड लेपित ससेप्टर एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि प्रयोग गरिएको धेरै उच्च सतह समतलता छ।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तह बीचको थर्मल विस्तार गुणांकमा भिन्नता घटाउनुहोस्, क्र्याकिंग र डेलामिनेशन रोक्नको लागि प्रभावकारी रूपमा बन्डिङ बल सुधार गर्नुहोस्।

- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।

- उच्च पिघलने बिन्दु, उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध।