Semicorex को PSS ह्यान्डलिङ क्यारियर फर वेफर ट्रान्सफर सबैभन्दा बढी माग गरिएको एपिटाक्सी उपकरण अनुप्रयोगहरूको लागि ईन्जिनियर गरिएको छ। हाम्रो अल्ट्रा-शुद्ध ग्रेफाइट वाहकले कठोर वातावरण, उच्च तापक्रम, र कठोर रासायनिक सफाईको सामना गर्न सक्छ। SiC लेपित क्यारियरमा उत्कृष्ट ताप वितरण गुण, उच्च थर्मल चालकता, र लागत-प्रभावी छ। हाम्रा उत्पादनहरू धेरै युरोपेली र अमेरिकी बजारहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
सेमिकोरेक्सबाट वेफर ट्रान्सफरको लागि PSS ह्यान्डलिंग क्यारियर एपिटेक्सियल वृद्धि र वेफर ह्यान्डलिंग प्रक्रियाहरूको लागि उच्च-तापमान र कठोर रासायनिक सफाई आवश्यकताहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएको हो। हाम्रो अल्ट्रा-प्योर ग्रेफाइट क्यारियर पातलो-फिल्म डिपोजिसन चरणहरू जस्तै MOCVD, एपिटाक्सी ससेप्टरहरू, प्यानकेक वा स्याटेलाइट प्लेटफर्महरू, र नक्काशी जस्ता वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधनका लागि उपयुक्त छ। SiC लेपित क्यारियरमा उत्कृष्ट ताप वितरण गुण, उच्च थर्मल चालकता, र लागत-प्रभावी छ।
वेफर ट्रान्सफरको लागि हाम्रो PSS ह्यान्डलिंग क्यारियरको बारेमा थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।
वेफर स्थानान्तरणको लागि PSS ह्यान्डलिंग क्यारियरको प्यारामिटरहरू
CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण |
||
SiC-CVD गुणहरू |
||
क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण |
|
घनत्व |
g/cm ³ |
3.21 |
कठोरता |
Vickers कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
गर्मी क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल शक्ति |
MPa (RT 4-बिन्दु) |
415 |
युवाको मोडुलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
वेफर स्थानान्तरणको लागि PSS ह्यान्डलिंग क्यारियरका सुविधाहरू
- छिलकाबाट बच्नुहोस् र सबै सतहमा कोटिंग सुनिश्चित गर्नुहोस्
उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस सम्म उच्च तापमानमा स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरिनेशन अवस्था अन्तर्गत CVD रासायनिक वाष्प निक्षेप द्वारा बनाईएको।
जंग प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घने सतह र ठीक कणहरू।
जंग प्रतिरोध: एसिड, क्षार, नुन र जैविक अभिकर्मक।
- उत्तम लामिनार ग्याँस प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्नुहोस्
- थर्मल प्रोफाइल को समानता ग्यारेन्टी
- कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउन रोक्नुहोस्