व्यावसायिक निर्माणको रूपमा, हामी तपाईंलाई सेमीकन्डक्टर कम्पोनेन्टहरू प्रदान गर्न चाहन्छौं। Semicorex अर्धचालक प्रशोधन मा सुधार को लागी तपाइँको साझेदार हो। हाम्रा सिलिकन कार्बाइड कोटिंगहरू घना, उच्च तापक्रम र रासायनिक प्रतिरोधी छन्, जुन प्रायः अर्धचालक वेफर र वेफर प्रशोधन र अर्धचालक निर्माण सहित अर्धचालक निर्माणको सम्पूर्ण चक्रमा प्रयोग गरिन्छ।
उच्च-शुद्धता SiC लेपित कम्पोनेन्टहरू सेमीकन्डक्टरमा प्रक्रियाहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छन्। क्रिस्टल बढ्दो तातो क्षेत्रहरू (हीटर, क्रुसिबल ससेप्टरहरू, इन्सुलेशन) को लागि ग्रेफाइट उपभोग्य वस्तुहरूदेखि लिएर एपिट्याक्सी वा MOCVD को लागि सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरहरू जस्ता वेफर प्रशोधन उपकरणहरूको लागि उच्च-परिशुद्धता ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरूसम्म हाम्रो प्रस्ताव दायरा।
अर्धचालक प्रक्रियाहरूको लागि लाभ
पातलो फिलिम डिपोजिसन चरणहरू जस्तै एपिटाक्सी वा MOCVD, वा वेफर ह्यान्डलिङ प्रशोधन जस्तै नक्काशी वा आयन इम्प्लान्टले उच्च तापक्रम र कठोर रासायनिक सफाई सहनु पर्छ। Semicorex ले उच्च शुद्धता सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट निर्माणले उच्च ताप प्रतिरोध र टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, लगातार epi तह मोटाई र प्रतिरोधको लागि थर्मल एकरूपता पनि प्रदान गर्दछ।
च्याम्बर ढक्कन →
क्रिस्टल ग्रोथ र वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधनमा प्रयोग हुने च्याम्बर लिडहरूले उच्च तापक्रम र कठोर रासायनिक सफाई सहनु पर्छ।
अन्त्य प्रभाव →
अन्त प्रभावकर्ता रोबोटको हात हो जसले सेमीकन्डक्टर वेफरहरूलाई वेफर प्रशोधन उपकरण र वाहकहरूमा स्थानहरू बीच सार्दछ।
इनलेट रिंगहरू →
MOCVD उपकरणद्वारा SiC लेपित ग्यास इनलेट रिंग कम्पाउन्ड ग्रोथमा उच्च ताप र जंग प्रतिरोध छ, जसको चरम वातावरणमा ठूलो स्थिरता छ।
फोकस रिङ →
Semicorex आपूर्ति सिलिकन कार्बाइड लेपित फोकस रिंग RTA, RTP वा कठोर रासायनिक सफाईको लागि वास्तवमै स्थिर छ।
वेफर चक →
Semicorex अल्ट्रा-फ्ल्याट सिरेमिक भ्याकुम वेफर चक्स उच्च शुद्धता SiC लेपित वेफर ह्यान्डलिंग प्रक्रियामा प्रयोग गरिन्छ।