सिलिकन वक्र इलेक्ट्रोडहरू

उन्नत ईच उपकरणको बखत, सिलिकन घुमाउरो इलेक्ट्रोड सामान्यतया सेमीकन्डक्टर वेफर तर्फ फर्केर, नक्कली कक्षको शीर्षमा माउन्ट गरिन्छ। सिलिकन घुमाउरो इलेक्ट्रोड सामान्यतया इलेक्ट्रोस्टेटिक चक, Si फोकस रिंग, Si एज रिंग, Si निकास रिंग, र Si शिल्डिङ रिंगसँग संयोजनमा सञ्चालन हुन्छ उच्च-परिशुद्धता नक्काशीको लागि इष्टतम अपरेटिङ अवस्थाहरू प्रदान गर्न।

Semicorex सिलिकन वक्र इलेक्ट्रोड को कार्य

1. जटिल 3D संरचना नक्काशी संग उपयुक्त

असाधारण 3D बिजुली क्षेत्र नियन्त्रण क्षमता संग, Semicorexसिलिकन घुमाउरो इलेक्ट्रोडजटिल संरचनाहरूको ज्यामितीय विशेषताहरूसँग पूर्ण रूपमा मेल खान सक्छ। विशेष घुमाउरो डिजाइनले सटीक प्लाज्मा नियन्त्रण र अनुकूलित ऊर्जा वितरणलाई सक्षम बनाउँछ, जसले थ्रीडी स्ट्रक्चर एचिङको पक्ष अनुपात र साइडवाल ठाडोपनलाई महत्त्वपूर्ण रूपमा असर गर्छ र उन्नत प्याकेजिङ प्रक्रियाहरू र 3D IC एकीकरणको उत्पादन लाइन आवश्यकताहरू पूर्ण रूपमा पूरा गर्दछ।

2. Etch ग्यास वितरणको सटीक नियन्त्रण

सेमिकोरेक्स सिलिकन घुमाउरो इलेक्ट्रोडहरूले नक्काशी कक्षमा प्रवेश गर्नको लागि इच ग्यासको लागि तिनीहरूको सतहमा धेरै समान रूपमा वितरित माइक्रो-प्वालहरू सुविधा दिन्छ। सेमिकोरेक्स सिलिकन घुमाउरो इलेक्ट्रोडहरूले इच ग्यासमा सटीक नियन्त्रण हासिल गर्न सक्छ र यसलाई नकचक कक्षमा समान रूपमा वितरण गर्न अनुमति दिन्छ, जसले गर्दा गैर-एकसमान ग्यास वितरणको कारणले हुने प्रक्रिया भिन्नताहरूलाई कम गर्दछ।

Semicorex सिलिकन वक्र इलेक्ट्रोड को लाभ

1. अति उच्च शुद्धता

सेमिकोरेक्स सिलिकन घुमाउरो इलेक्ट्रोड अल्ट्रा-उच्च-शुद्धता एकल-क्रिस्टलबाट बनेका छन्सिलिकन99.9999999% माथिको शुद्धता स्तरको साथ, प्लाज्मा इरोसनको लागि उच्च प्रतिरोध प्रदान गर्दै। यो उच्च-मानक सामग्री चयनले प्रभावकारी रूपमा सिलिकन घुमाउरो इलेक्ट्रोडहरूको सेवा जीवन विस्तार गर्दा नक्कली उप-उत्पादनहरूबाट उत्पन्न हुने अनावश्यक प्रदूषणबाट बच्न सक्छ।

2. उत्कृष्ट विद्युत गुणहरू

MCZ-बढाइएको एकल-क्रिस्टल सिलिकनबाट निर्मित, Semicorex सिलिकन वक्र इलेक्ट्रोडहरूले उत्कृष्ट प्रतिरोधात्मकता एकरूपता प्रदर्शन गर्दछ: ~5%, र एक व्यापक चयन योग्य प्रतिरोधात्मक दायरा: कम रिजोल्युसन। (<0.02), मध्य रिजर्भेसन। (1-4), र उच्च रिजोलुसन। (७०-९०)।

3. परिशुद्धता प्रशोधन शुद्धता

उच्च परिशुद्धता मेकानिकल प्रशोधन को माध्यम बाट, Semicorex सिलिकन घुमाउरो इलेक्ट्रोड लगातार छिद्र आकार र समान प्वाल वितरण प्राप्त गर्दछ। तिनीहरूको सतहहरू राम्ररी पालिश गरिएको र ग्राउन्ड: पालिश गरिएको (Ra <0.1 μm) र ग्राउन्ड (Ra <1.6 μm), 0.03 mm भित्र नियन्त्रित समग्र मेसिनिंग सटीकको साथ।