एकल-क्रिस्टल सिलिकन इलेक्ट्रोड

एकल-क्रिस्टल सिलिकन इलेक्ट्रोडसामान्यतया माथिल्लो इलेक्ट्रोडको रूपमा सेवा गर्दै, नक्काशी कक्षको शीर्षमा स्थापना गरिन्छ। एकल-क्रिस्टल सिलिकन इलेक्ट्रोडको सतहमा समान रूपमा वितरित माइक्रोहोलहरू छन्, जसले प्रतिक्रिया कक्षमा समान रूपमा नक्काशी ग्यास डेलिभर गर्न सक्छ। नक्काशी प्रक्रियाको बखत, तिनीहरूले एक समान बिजुली क्षेत्र उत्पन्न गर्न तल्लो इलेक्ट्रोडसँग काम गर्छन्, जसले सटीक नक्काशीको लागि एक आदर्श सञ्चालन अवस्था प्रदान गर्न योगदान गर्दछ।

सावधान सामग्री चयन

Semicorex ले एकल-क्रिस्टल सिलिकन इलेक्ट्रोडहरू निर्माण गर्न प्रीमियम MCZ-उत्पादित मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन चयन गर्दछ, उद्योग-अग्रणी उत्पादन प्रदर्शन र गुणस्तर प्रदान गर्दै।

1. अति उच्च शुद्धता

Semicorex एकल-क्रिस्टल सिलिकन इलेक्ट्रोडले 99.9999999% भन्दा बढीको अल्ट्रा-उच्च शुद्धता सुविधा दिन्छ, जसको मतलब आन्तरिक धातु अशुद्धताहरूको सामग्री अत्यन्त कम छ।

2. असाधारण प्रतिरोध एकरूपता

परम्परागत CZ एकल-क्रिस्टल सिलिकन भन्दा फरक, सेमिकोरेक्स द्वारा प्रयोग गरिएको MCZ-बढाइएको मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकनले 5% भन्दा कम प्रतिरोधात्मक एकरूपता प्राप्त गर्दछ। यसको कम रेस। ०.०२ Ω· सेमी तल नियन्त्रित छ, मध्य रेस। ०.२ र २५Ω·cm को बीचमा छ, र उच्च रिजोल्युसन। 70-90 Ω·cm बीच छ (अनुरोधमा अनुकूलन उपलब्ध छ)।

3. उत्कृष्ट सामग्री संरचना

MCZ विधि मार्फत उब्जाइएको एकल-क्रिस्टल सिलिकनले अधिक स्थिर संरचना र कम दोषहरू प्रदान गर्दछ, जसले सेमिकोरेक्स एकल-क्रिस्टल सिलिकन इलेक्ट्रोडहरूले उल्लेखनीय प्लाज्मा क्षरण प्रतिरोध प्रदान गर्दछ र कठोर नक्काशी सञ्चालन अवस्थाहरूको सामना गर्दछ।

---

उच्च मानक प्रशोधन परिशुद्धता

सेमीकोरेक्सएकल क्रिस्टल सिलिकनइलेक्ट्रोडहरू सिलिकन इन्गटबाट तयार उत्पादनमा पूर्ण उत्पादन प्रक्रिया मार्फत उत्पादन गरिन्छ, जसमा स्लाइसिङ, सतह पीसने, प्वाल ड्रिलिंग, भिजेको नक्काशी, र सतह पालिसिङ समावेश हुन्छ। सेमिकोरेक्सले प्रत्येक चरणमा कडा परिशुद्धता नियन्त्रणलाई सुनिश्चित गर्नको लागि व्यास, मोटाई, सतहको समतलता, प्वाल स्पेसिङ, र इलेक्ट्रोडको एपर्चर आदर्श सहिष्णुता भित्र राखिएको छ।

1. माइक्रोहोल प्रशोधन

एकल-क्रिस्टल सिलिकन इलेक्ट्रोडहरूमा माइक्रो-प्वालहरूले एकसमान स्पेसिङ र लगातार व्यास (०.२ देखि ०.८ मिमी सम्म) को सुविधा दिन्छ, चिल्लो र बुर-रहित भित्री पर्खालहरू सहित। यसले प्रभावकारी रूपमा नक्काशी ग्यासको एकसमान र स्थिर आपूर्तिको ग्यारेन्टी गर्दछ, यसरी वेफर एचिङको एकरूपता र शुद्धता सुनिश्चित गर्दछ।

2. प्रशोधन शुद्धता

Semicorex एकल-क्रिस्टल सिलिकन इलेक्ट्रोडको प्रशोधन शुद्धता 0.3 मिमी भित्र नियन्त्रण गरिन्छ, र तिनीहरूको पालिश सटीकता 0.1 µm भन्दा तल कडा रूपमा नियन्त्रण गर्न सकिन्छ, र राम्रो पीस 1.6 µm भन्दा कम छ।